《郑州大学学报(工学版)》
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关键词中包括
磁控溅射
的文章
1
ITO陶瓷靶材的磁控溅射过程中结瘤行为研究
罗文
1
,孙本双
2
,刘书含
2
,陈杰
2
,孟将
1
,李树荣
1
2021年02期 [88－93][
摘要
](
5147
)
[
pdf
8617KB]
(
2370
)
DOI:
10.13705/j.issn.1671-6833.2021.02.003