《郑州大学学报(工学版)》
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磁控溅射
的文章
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ITO陶瓷靶材的磁控溅射过程中结瘤行为研究
罗文、孙本双、刘书含、陈杰、孟将、李树荣 2021年02期 [88－93][
摘要
](
4810
)
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pdf
8617KB]
(
2267
)
DOI:
10.13705/j.issn.1671-6833.2021.02.003